
Название: Физические основы кремниевой наноэлектроники
Автор: Зебрев Г.И.
Издательство: М.: БИНОМ. ЛЗ
Год: 2012
Страниц: 242
ISBN: 978-5-9963-1447-8
Формат: PDF
Размер: 11 Мб
Язык: русский
Серия: Нанотехнологии
Предметом данного учебного пособия является кремниевая наноэлектроника, под которой понимают электронику на основе кремниевых наноразмерных МОП-транзисторов. Книга предназначена, в первую очередь, студентам, специализирующимся в области микро- и наноэлектроники.