
Название: Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем
Автор: Васильев В.Ю.
Издательство: Новосибирск: Изд-во НГТУ
Год: 2023
Формат: pdf
Страниц: 128
Размер: 11 mb
Язык: Русский
Пособие составлено на базе 40-летнего личного опыта работы автора на отечественных и зарубежных предприятиях микроэлектронной отрасли. Рассмотрена совокупность вопросов организации и использования в серийном производстве субмикронных интегральных микросхем (ИМС) методов непосредственного производственного (in-line) контроля тонкопленочных материалов – основы современных ИМС. Приведены примеры приборов контроля и возможностей их применения для характеризации процессов получения и свойств тонких пленок.