Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов

Автор: umkaS от 26-08-2021, 11:30, Коментариев: 0

Категория: КНИГИ » АППАРАТУРА

Название: Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов
Автор: Брюэр Дж. Р. (ред.)
Издательство: М.: Радио и связь
Год: 1984
Cтраниц: 336
Формат: pdf
Размер: 17 мб
Язык: русский

Рассмотрены процессы высокоразрешающей электронно-лучевой литографии, взаимодействие электронного луча с резистом, способы изготовления фотошаблонов и переноса изображения на полупроводниковую пластину. Даны примеры электронно-лучевых установок. Определены области наиболее целесообразного применения электронно-лучевой литографии. Для широкого круга инженерно-технической работников, занимающихся проектированием и изготовлением полупроводниковых приборов и интегральных схем.

Скачать Брюэр Дж. Р. (ред.) - Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов





ОТСУТСТВУЕТ ССЫЛКА/ НЕ РАБОЧАЯ ССЫЛКА ЕСТЬ РЕШЕНИЕ, ПИШИМ СЮДА!


Нашел ошибку? Есть жалоба? Жми!
Пожаловаться администрации
Уважаемый посетитель, Вы зашли на сайт как незарегистрированный пользователь.
Мы рекомендуем Вам зарегистрироваться либо войти на сайт под своим именем.
Информация
Посетители, находящиеся в группе Гости, не могут оставлять комментарии к данной публикации.