Автор: Н. А. Барканов и др.
Название: Основы микроэлектроники и технологии производства микросхем
Издательство: М:, Московский институт электронной техники
Год: 1971
Страниц: 298+354
Формат: DJVU
Размер: 27 МБ
Пособие состоит из двух частей (7 глав - в первой части, 5 -во второй). Первая часть посвящена рассмотрению функционально-узлового метода конструирования, микроминиатюризации, физическим основам, конструированию и технологии изготовления ИС на основе тонких, толстых и магнитных пленок. Во второй части описаны физические основы полупроводниковой электроники, технологии изготовления и проектирования полупроводниковых ИС, дана общая характеристика метода контроля и испытаний ИС, указаны пути дальнейшего развития микроэлектроники. Пособие рассчитано на студентов и аспирантов, специализирующихся по микроэлектронике, а также инженеров, работающих в данной области. При написании пособия использованы материалы, опубликованные в периодической печати, некоторые работы авторов, а также материалы курсов лекций по микроэлектронике, прочитанных авторами в 1968-1970 гг. студентам всех факультетов МИЭТ. Главы I-V первой части написаны Баркановым Н.А., У1 глава первой части - Митрофановым О.В., VII главу первой части и V главу второй написали Ефимов И.Е. и Козырь И.Я.? II главу второй части -Самохвалов Г.К., III главу второй части написал Шер Ю.А. и IV главу - Митрофанов О.В. и Козырь И.Я. Общее руководство по написанию и редактированию пособия выполнено Ефимовым И.Е.