Название: Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2-х частях
Автор: М.А.Королев, Т.Ю.Крупкина
Издательство: М.: Бином. Лаборатория знаний
Год: 2012
Страниц: 405+424
Формат: PDF
Размер: 15.24 Mb
Язык: Русский
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.