Материаловедение в микроэлектронике

Автор: In32s от 23-10-2017, 08:21, Коментариев: 0

Категория: КНИГИ » АППАРАТУРА



Название: Материаловедение в микроэлектронике
Автор: Палатник Л. С., Сорокин В. К.
Издательство: Энергия
Год: 1977
Серия: Электронное материаловедение
Страниц: 142 (в книге — 280)
Формат: DjVu, PDF
Размер: 14,4 МБ
Язык: русский

В книге освещены основные вопросы материаловедения в области микроэлектроники. Рассматриваются поверхностные свойства полупроводников, металлов и диэлектриков, вопросы адсорбции на поверхности газов и паров, вопросы диффузии в приповерхностный слой примесей, а также методы нанесения и свойства пленочных материалов: проводящих, сверхпроводящих, магнитных, резистивных пленок и
эпитаксиальных пленок кремния.
Книга предназначена для широкого круга научных и инженерно-технических работников, а также может служить в качестве учебного пособия по теоретическим проблемам конструирования и производства микросхем для студентов и аспирантов вузов.




Скачать с облака






Нашел ошибку? Есть жалоба? Жми!
Пожаловаться администрации
Уважаемый посетитель, Вы зашли на сайт как незарегистрированный пользователь.
Мы рекомендуем Вам зарегистрироваться либо войти на сайт под своим именем.
Информация
Посетители, находящиеся в группе Гости, не могут оставлять комментарии к данной публикации.