Название: Технология материалов электронной техники. Теория процессов полупроводниковой технологии (2-е изд.)
Автор: Крапухин В.В., Соколов И.А., Кузнецов Г.Д.
Издательство: МИСИС
Год: 1995
ISBN: 5-87623-004-9
Страниц: 493
Формат: DjVu, PDF
Размер: 34,2 МБ
Язык: Русский
Представлены общие положения термодинамики необратимых процессов; закономерности диффузии и термокинетики в неподвижной и движущейся средах, макрокинетики гетерогенных процессов; математическое описание двухфазных равновесий; Р—Т-х диаграммы состояния, их проекции и сечения. Рассмотрены материальный баланс, термодинамика и кинетика широко используемых процессов получения материалов из паровой, парогазовой и жидкой фаз. На атомно-молекулярном уровне описана кинетика процессов получения эпитаксиальных слоев, пленок и монокристаллов. Впервые изложены методы нетермической активации и плазмохимические процессы, причины возникновения дефектов при ионном воздействии на материалы.
Для студентов вузов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника» и специальности «Материалы и компоненты твердотельной электроники».
Скачать: Технология материалов электронной техники. Теория процессов полупроводниковой технологии (2-е изд.)