Название: Металлизация ультрабольших интегральных схем
Автор: Д.Г. Громов, А.И. Мочалов, А.Д. Сулимин, В.И. Шевяков
Издательство: БИНОМ. ЛЗ
Год: 2012
Страниц: 277
ISBN: 978-5-9963-0915-3
Формат: PDF
Размер: 10.7 Мб
Язык: русский
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.
Оглавление
Глава 1. Развитие систем металлизации кремниевых ИС. Основные проблемы
Глава 2. Выпрямляющие контакты
Глава 3. Омические контакты
Глава 4. Формирование силицидных контактных слоев
Глава 5. Пути повышения тепловой устойчивости систем металлизации. Принципы создания диффузионно-барьерных слоев
Глава 6. Диэлектрические слои многоуровневой системы металлизации
Глава 7. Особенности технологий многослойной системы металлизации с медными межсоединениями
Скачать Громов Д.Г. и др. - Металлизация ультрабольших интегральных схем