Название: Технология микросхемАвтор: Парфенов О.Д.
Издательство: Высшая школа
Год: 1977
Формат: pdf
Страниц: 255
Размер: 10,9 Mb
Язык: Русский
В книге рассмотрены: технология полупроводниковых интегральных микросхем (диффузии, эпитаксия, пассивация, межсоединения, фотолитография); технология гибридных пленочных микросхем (физические основы и техника термического вакуумного напыления, активные и пассивные тонкопленочные элементы, методы контроля тонкопленочных элементов в процессе напыления, распыление ионной бомбардировкой, технологические особенности толстопленочных микросхем); сборка микросхем (монтажно-сборочные операции, крепление подложек и кристаллов, герметизация).