Название: Расчет и проектирование устройств электронной и ионной литографииАвтор: Попов В.К., Ячменёв С.Н.
Издательство: Радио и связь
Год: 1985
Серия: Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры
Формат: pdf
Страниц: 130
Размер: 17,7 Мб
Язык: Русский
В пособии изложены сведения о принципах работы и конструктивных особенностях устройств зондового и проекционного оборудования электронной и ионной литографии. Даны основные понятия электронной оптики, описаны методы расчета аберрационных характеристик электронно-оптических систем с осевой симметрией и с малыми отклонениями от нее. Приведены результаты расчетов. Для инженерно-технических работников, занимающихся проектированием устройств электронной и ионной литографии, а также специалистов, работающих в смежных областях техники по созданию электронно- и ионнооптических аналитических устройств.