Название: Технология интегральных микросхем
Автор: Смирнов В.И.
Издательство: Москва, Вологда: Инфра-Инженерия
Год: 2023
Формат: pdf
Страниц: 244
Размер: 13 mb
Язык: Русский
Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах.