Название: Технология микросхем
Автор: Иванов-Есипович Н.К.
Издательство: Высшая школа
Год: 1972
Страниц: 258
Формат: pdf
Размер: 10 mb
Качество: хорошее
В книге рассматриваются вопросы технологии толстых композиционных пленок, вакуумтермичсской технологии, технологии полупроводниковых микросхем. Значительное внимание уделено ионноплазменному распылению, как способу получения тонкопленочных микросхем. Вопросы технологии освещаются с позиции физико-химических процессов, протекающих при изготовлении микросхем.