Название: Рентгеновская структурная диагностика в исследовании приповерхностных слоев монокристаллов
Автор: А.М. Афанасьев, П.А. Александров, Р.М. Имамов
Издательство: Наука
Год издания: 1986
Количество страниц: 97
Язык: русский
Формат: DJVU, PDF
Размер: 10,2 Мб
Изложены основные идеи физики дифракции рентгеновских лучей, направленные на создание методов анализа кристаллической структуры тончайших приповерхностных слоев и границ раздела кристаллов высокой степени совершенства, в первую очередь полупроводниковых кристаллов, являющихся основой современной микроэлектроники.
turbobit
2bay