Название: Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники
Автор: А. А. Сазонов
Издательство: Москва "Высшая школа"
Год: 1991
Формат: pdf
Страниц: 336
Размер: 15,49 Мб
Язык: русский
В книге рассматриваются вопросы разработки систем управления основными технологическими процессами интегральных микросхем, в том числе вопросы моделирования и идентификации технологического оборудования, разработки информационно-измерительных систем, управляющих и исполнительных устройств, а также системы управления некоторых конкретных технологических процессов и технологического микроклимата.
depositfiles.com
turbobit.net