Название: Физические основы микро- и нанотехнологий Автор: Цветков Ю.Б., Бычков С.П., Михайлов В.П. Издательство: МГТУ ISBN: 978-5-7038-3319-3 Год: 2009 Страниц: 176 Язык: русский Формат: pdf, djvu Размер: 10,25 MB
Даны краткие сведения из отдельных разделов физики и смежных наук, составляющих физические основы микро- и нанотехнологий. Рассмотрены основные законы, понятия и определения физических явлений, процессов и сред, являющихся основой этих технологий. Приведены методы преобразования фундаментальных физических законов в прикладные технологические зависимости, расчеты физических закономерностей, определяющих параметры процессов микро- и нанотехнологий. Для студентов 3-го и 4-го курсов, обучающихся по специальности "Электронное машиностроение".
1. Вакуум - рабочая среда для микро- и нанотехнологий 1.1. Основные положения физики вакуума 1.2. Физические процессы при вакуумной откачке 2. Теплопередача 2.1. Теплопередача теплопроводностью 2.2. Теплообмен излучением 2.3. Теория теплопередачи и ее использование для анализа физических процессов различной природы 3. Формирование потоков частиц 3.1. Формирование электронных потоков 3.2. Формирование ионных потоков 3.3. Формирование атомарных и молекулярных потоков 4. Взаимодействие потоков частиц с материалами 4.1. Взаимодействие электронных и ионных потоков с материалами 4.2. Взаимодействие ионных потоков с материалами 5. Формирование газоразрядной плазмы и ее взаимодействие с материалами 5.1. Параметры газоразрядной плазмы 5.2. Кривые Пашена 5.3. Высокочастотная плазма 6. Формирование оптического излучения 6.1. Формирование микрорельефа в резисте 6.2. Системы экспонирования 6.3. Основы теории формирования микроизображений 6.4. Скалярная теория дифракции 7. Проекционное формирование микроизображений 7.1. Качество проекционного изображения 7.2. Понятие изображающей системы 7.3. Связь между объектом и изображением 7.4. Свертка 7.5. Фурье-преобразования в оптике 7.6. Оптическая передаточная функция 7.7. Зрачковая функция и ее связь с оптической передаточной функцией 7.8. Связь комплексной амплитуды изображения со зрачковой функцией 7.9. Оптическая передаточная функция как автокорреляция зрачковой функции 7.10. Системы дифракционного качества с постоянным пропусканием по площади зрачка 7.11. Учет распределения интенсивности в изображении
Уважаемый посетитель, Вы зашли на сайт как незарегистрированный пользователь.
Мы рекомендуем Вам зарегистрироваться либо войти на сайт под своим именем.
Информация
Посетители, находящиеся в группе Гости, не могут оставлять комментарии к данной публикации.
Название: Физические основы микро- и нанотехнологий 