Название: ВЧ МЭМС и их применение
Автор: Варадан В., Виной К., Джозе К.
Издательство: М.: Техносфера
Год: 2004
Формат: DJVU
Страниц: 528
Для сайта: litgu.ru
Размер: 12 mb
Язык: русский
В монографии подробно рассмотрены вопросы проектирования и применения, а также технологические аспекты производства разнообразных микроэлектромеханических устройств: переключателей, регулируемых индукторов и конденсаторов, фильтров, фазовращателей, линий передач и антенн, приведены преимущества и недостатки каждой отдельной конструкции и указаны способы их оптимизации. Целая глава посвящена такой важной теме, как монтаж микросистем, где обсуждаются методы построения корпусов микросистем и способы их сборки. Детальное описание методов изготовления микроустройств, как традиционных, применяемых в электронной промышленности, так и современных, разработанных специально для микросистем, делает книгу особенно ценной для специалистов.
В 1982 году сотрудник фирмы IBM К. Петерсон по новому взглянул на кремний, увидев в нём не только полупроводниковый, но и конструкционный «механический» материал. Появление миниатюрных устройств, в которых гальванические (электрические) подсистемы интегрируются на микроуровне с механическими, породило новое направление, получившее с 1987 года аббревиатуру MEMS (МЭМС) (микроэлектромеханические системы).
Микросистемы.
Материалы и методы изготовления микросистем.
Высокочастотные микропереключатели и микрореле.
Конденсаторы и катушки индуктивности в микросистемах.
Высокочастотные микрофильтры.
Микрофазовращатели.
Линии передач в микросистемах и их компоненты.
Микроантенны.
Монтаж высокочастотных микросистем.