Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем

Автор: Почемучка от 22-07-2019, 20:40, Коментариев: 0

Категория: КНИГИ » ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ

Название: Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем
Автор: Мокеев О.К., Романов А.С.
Издательство: М.: Высшая школа
Год: 1979
Формат: DjVu/PDF
Страниц: 272
Размер: 65.7 MB
Язык: Русский

В книге рассмотрены технологические процессы химической обработки, фотолитографии и изготовления фотошаблонов в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Приведены основы теории этих процессов, методы и средства контроля качества обработки, технологические операции и оборудование.

Скачать Мокеев О.К., Романов А.С. - Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем [1979, DjVu/PDF]




Нашел ошибку? Есть жалоба? Жми!
Пожаловаться администрации

Изменил: Почемучка по причине: восстановлены

Уважаемый посетитель, Вы зашли на сайт как незарегистрированный пользователь.
Мы рекомендуем Вам зарегистрироваться либо войти на сайт под своим именем.
Информация
Посетители, находящиеся в группе Гости, не могут оставлять комментарии к данной публикации.
 
Litgu.ru © 2023