Название: Кремний - материал наноэлектроники Автор: Герасименко Н. Н., Пархоменко Ю. Н. Издательство: Техносфера Серия: Мир материалов и технологий Год издания: 2007 Страниц: 352 ISBN: 978-5-94836-101-7 Формат: DjVu Размер: 6,6 Мб Качество: хорошее Язык: русский
Монография посвящена рассмотрению проблем и возможностей использования кремния для создания приборов и устройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и структурах, а также физических ограничениях. Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур.
Предисловие Введение Глава 1. Физические принципы наноэлектроники Глава 2. Кремниевая одноэлектроника Глава 3. Оптические и фотоэлектрические свойства квантово-размерных структур Si—Ge Глава 4. Методы получения самоорганизованных Si—Ge- наноструктур Глава 5. Синтез проводящих и полупроводниковых соединений в кремнии Глава 6. Формирование наноразмерных структур при ионном распылении поверхности полупроводников Глава 7. Нанокристаллы кремния, получаемые разными способами Глава 8. Квантовые точки из монокристаллического Si, сформированные ионной имплантацией в пленках SiO2 Глава 9. Перспективы кремниевой наноэлектроники Заключение Список принятых сокращений
Уважаемый посетитель, Вы зашли на сайт как незарегистрированный пользователь.
Мы рекомендуем Вам зарегистрироваться либо войти на сайт под своим именем.
Информация
Посетители, находящиеся в группе Гости, не могут оставлять комментарии к данной публикации.
Название: Кремний - материал наноэлектроники