Название: Структурные дефекты в монокристаллах полупроводников
Автор: Мильвидский М.Г., Освенский В.Б.
Издательство: М.: Металлургия
Год: 1984
Формат: DjVu
Страниц: 256
Размер: 12 Мб
Язык: русский
В книге впервые с единых позиций на основе современных теоретических представлений рассмотрены вопросы дефектообразования в монокристаллах полупроводников. Особое внимание уделено закономерностям формирования дислокационной структуры и генерации собственных точечных дефектов в монокристаллах непосредственно при их выращивании, роли взаимодействия дефектов в формировании реальной структуры кристалла, влиянию различных дефектов на свойства полупроводников. Основное рассмотрение проведено для кристаллов с решеткой алмаза и сфалерита, в первую очередь кремния, германия и соединений АIIIBV хотя установленные закономерности в большинстве случаев носят общий характер.
Книга предназначена для широкого круга научных и инженерно-технических работников, специализирующихся в области физики, технологии и материаловедения полупроводников, а также приборов и интегральных схем на их основе.