Название: Нанотехнология в электронике. Введение в специальностьАвтор: Лозовский В., Константинова Г., Лозовский С.
Издательство: Москва
Год: 2008
Формат: djvu
Страниц: 170
Размер: 26,54 Мб
Язык: русский
Данное пособие знакомит читателя с историческими этапами зарождения наноэлектроники, определяет роль микроэлектроники на современном этапе. Также приведены теоретические основы и особенности наноэлектроники, отражены особенности инструментального и технологического обеспечения ее развития.